TN-G1200ZC管式爐CVD系統(tǒng)

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關(guān)鍵詞： 管式爐CVD系統(tǒng)           

摘要 

產(chǎn)品名稱	管式爐CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)	TN-G1200ZC
產(chǎn)品簡(jiǎn)介	
廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn)，也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。

產(chǎn)品介紹

TN-G1200ZC型1200℃管式爐CVD系統(tǒng)

該儀器可廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn)，也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

1

產(chǎn)品名稱

TN-G1200ZC 型1200℃管式爐CVD系統(tǒng)

2

產(chǎn)品型號(hào)

TN-G1200ZC -503 工作室尺寸：直徑50x300mm

TN-G1200ZC -603 工作室尺寸：直徑60x300mm

TN-G1200ZC -803 工作室尺寸：直徑80x300mm

3

顯示模式

觸摸屏顯示

4

爐膛模式

開啟式

5

上限溫度

1200℃

6

工作溫度

≤1100℃

7

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)

8

溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

9

恒溫區(qū)長(zhǎng)

100mm

10

爐管材質(zhì)

石英管

11

密封方式

不銹鋼真空法蘭

12

控溫方式

智能化30段可編程控制，自動(dòng)控溫

13

控溫精度

±1℃

14

加熱速率

≤20℃

15

加熱元件

進(jìn)口合金加熱絲

16

熱電偶

K型熱電偶

17

爐膛材料

進(jìn)口氧化鋁陶瓷纖維

18

功率

2.5Kw

19

氣體通道

可連接3種氣源

20

電源

220v 50Hz～60Hz

21

系統(tǒng)真空

-0.1MPa

22




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